​超精密零件加工对表面粗糙度有极高的要求，这些要求通常与零件的具体应用、所需精度以及加工技术的进步紧密相关。一般来说，超精密零件加工的表面粗糙度要求达到纳米级或接近纳米级的水平。
具体来说，超精密加工的表面粗糙度Ra值通常在0.001μm数量级，这意味着零件表面的微观不平度非常小，接近理想的光滑状态。这种高精度的表面粗糙度要求对于提高零件的性能、精度和可靠性至关重要。

超精密加工技术包括超精密切削、超精密磨削、超精密研磨以及超精密特种加工等多种方法。这些方法通过高精度的机床设备、先进的刀具和磨料以及严格的工艺控制，实现对零件表面的超精密加工。在加工过程中，需要严格控制各种加工参数，如切削速度、进给量、切削深度、磨削压力等，以确保达到所需的表面粗糙度要求。

值得注意的是，随着科技的不断发展，超精密加工技术也在不断进步。现代超精密加工技术已经能够实现更高的加工精度和更低的表面粗糙度，从而满足更加严苛的应用需求。